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空氣源臭氧發生器和氧氣源臭氧發生器臭氧發生器中因原料使用的不同又分為空氣源臭氧發生器和氧氣源臭氧發生器，其中以瓶裝氧氣或為氣源的臭氧發生器，稱為氧氣源的臭氧發生器。以空氣為氣源的臭氧發生器稱為空氣源臭氧發生器。兩種臭氧發生器的配置和結構基本相同，但同樣功率和大小的臭氧發生器氧氣源的發生器比空氣 源的臭氧發生器臭氧發生量大。

空氣源臭氧發生器和氧氣源臭氧發生器空氣源的臭氧發生器的空氣，并不是一般的壓縮空氣就可以用，而是要對空氣進行壓縮 、過濾、冷干、吸干等多種處理后才能使用。空氣源臭氧發生器臭氧濃度低，氧氣源臭氧發生器臭氧濃度高。